产品目录Product center
品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 5万-10万 |
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产品种类 | 接触式轮廓仪/粗糙度仪 | 产地类别 | 进口 |
应用领域 | 综合 |
布鲁克Dektak 150表面轮廓仪多功能台阶仪
品牌:VEECO
产地:德国
产品型号:Dektak 150
规格:
测试技术:探针轮廓技术
测试功能:二维表面轮廓测试
样品视场:640*480像素,USB;17 inc 平板显示器
探针传感器:低惯量传感器(LIS 3)
探针压力:使用LIS 3传感器:1*15 mg
使用N-lite传感器:0.03*15 mg
探针选项:探针曲率半径可选范围:50 nm*25 um;
*径比针尖:10 um * 2 um 和200 um*20 um
样品载物台:手动X/Y/@:100*100 mm, 360度旋转,可手动校平;
可选Y自动移动载物台,100 mm行程,1um重现性,0.5 um分辨率;
可选X-Y自动移动载物台,150 mm行程;
1um重现率,0.5 um 分辨率
计算机系统:主机使用celeron或者semprom处理器
软件:Dektak软件
台阶检测软件
可选应力测量软件
可选三维Vision分析软件
可选缝合软件
减震装置:可选桌式震动隔离装置
可选台式震动隔离装置
性能
扫描长度范围 55mm(2.1英寸)
每次扫描数据点*多12万数据点
*大样品厚度*达90 mm (4英寸),取决于配置
*大晶圆尺寸 150 mm(6英寸)
台阶*度重现性 6埃
垂直范围:标准524um(0.02英寸);可选1mm
垂直分辨率:*大1A(6.55um垂直范围下)
尺寸:292 mm *508 mm*527 mm
重量:34 kg
电源要求:
输入电压: 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
无论是用于科学研究还是工业生产,Dektak 150探针式表面轮廓仪都具有业内*好的表现性能,**的测量重复性以及*大的扫描范围。Dektak 150集四十多年的技术积累和创新于*身,为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置。坚固的铝质材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提*了仪器的重复*度,并降低了地板噪音对测量的干扰。基于Windows?XP的软件用户界面,使用户迅速掌握Dektak 150。分析功能齐全,界面直观,包括从简便的*键"进针即测量",到多次扫描结果的自动分析。通过选配三维成像附件套装还可以极大地扩充仪器的功能。
布鲁克Dektak 150表面轮廓仪多功能台阶仪
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